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第一卷 第285章 暗影潜伏(1/3)

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    咔哒。

    配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下,露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。

    那双戴着脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐,针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。

    嗤——!

    一缕肉眼不可见的微量凝固气体,顺着管道内壁,无声无息地飘向了光刻机核心车间。

    车间内,刺目的白光照亮了整个操作台。

    高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液,顺着高压微管,稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。

    “滴胶。”

    程美丽清冷的声音在车间内响起。

    一滴粘稠的原液精准滴落。

    “启动旋涂。”

    嗡——!

    旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆,主轴开始高速旋转,发出平稳的低鸣。

    金黄色的胶体在离心力的作用下,如同一层完美的薄膜,迅速向晶圆四周铺展开来。

    李副部长和几名核心专家屏住呼吸,死死盯着上方悬挂的激光平整度检测仪。

    红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。

    滴!

    大屏上的数据疯狂跳动,最终死死卡在一个数字上。

    0.05微米。

    “不行!”

    技术组长急得满头大汗,一拳砸在金属护栏上。

    “误差卡在0.05微米下不去了!这个平整度根本达不到EUV光源的点火标准!”

    程美丽站在操作台前,目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。

    “机器没问题,是配重。”

    她双手快速在键盘上敲击,调出主轴的震动波形图。

    “新配方的胶体粘度太高,主轴原有的震动频率产生了微共振。”

    “停机。”

    嗡鸣声骤停。

    程美丽大步走上前,纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。

    “拿配重铅块来。”

    “在这里,加0.5克,微调动平衡。”

    两名高级技工满头大汗地冲上来,用医用镊子夹着极小的铅块,精准卡入指定位置。

    “重新点火旋转!”

    主轴再次咆哮着提速。

    就在这最关键的瞬间。

    头顶的百叶窗内,一股极度微弱的异样气流悄然卷入车间。

    滴滴滴滴!

    激光检测仪猛地爆发出凄厉的红色警报声!

    “怎么回事!”

    李副部长惊恐地抬起头。

    大屏上,原本平滑的胶体三维扫描图上,肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。

    “有颗粒!”

    检测员尖叫出声,声音里透着绝望。

    “胶体表面发生未知凝固反应!刚铺好的涂层要报废了!”

    整个车间的空气瞬间凝固,所有人的脸色煞白如纸。

    陆川站在操作台侧后方,鼻翼微动,深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。

    化学凝固剂的微弱气味。

    他右脚重重蹬地,修长的身躯化作一道残影,直接扑向墙边的环境控制柜。

    砰!

    他一拳砸碎防护玻璃,狠狠拉下最顶端的红色拉杆。

    “锁死通风口!”

    他头也不回地怒吼,声音如炸雷般劈开车间的恐慌。

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