字。
八个九。
李副部长站在人群最前面,眼珠子几乎要瞪出眼眶,双手死死攥住前排的栏杆。
“成了!”
他猛地一拍大腿,仰起头放声大笑。
笑声震得头顶的白炽灯都在晃。
车间内的专家与工人们愣了一秒,随即将手里的图纸和手套高高抛向半空,互相死死抱在一起。
震耳欲聋的欢呼声瞬间掀翻了车间的屋顶。
程美丽坐在椅子上,被这冲天的嗓门吵得用手捂住了耳朵。
她嚼碎嘴里的薄荷糖,没好气地白了李副部长一眼。
“嚎什么。”
“提纯只是第一步,切不出来薄片,这硅棒就是根烧火棍。”
欢呼声戛然而止。
李副部长搓了搓通红的脸颊,立刻朝后招手。
“上切割机!快!”
吊车缓缓移动,将那根沉重的单晶硅棒稳稳吊起,推入一旁的金刚石线切割机舱内。
卡扣锁死。
滋——!
高压冷冻液喷涌而出,化作白色的水雾罩住整个切割区。
金刚石线圈开始以肉眼难以捕捉的速度疯狂运转。
极细的切割线狠狠咬进硅棒表面,发出令人牙酸的撕裂声。
金属碎屑混着冷冻液,在防爆玻璃内壁上砸出一片泥泞。
十分钟后。
切割声停歇。
机舱门弹开。
第一批标准八英寸晶圆被机械抓手切下,整整齐齐地码放在无尘操作台的托盘内。
每一片都薄如蝉翼,表面光洁如镜,倒映着车间刺眼的白光。
程美丽站起身,走到无尘操作台前。
她没有戴手套,而是直接用一把定制的防静电竹镊,捏起一片刚切好的晶圆。
薄薄的硅片在她指尖转了半个圈。
她将其平放在高倍电子显微镜的载物台上,低头凑近目镜。
右侧的旋钮被她快速拧动,焦距在一瞬间锁定。
显微镜下的视场里,晶圆表面的微观结构暴露无遗。
程美丽看了一眼,眉头立刻拧成了一个死结。
她直起身,把竹镊往托盘里重重一扔。
啪!
“废品。”
两个字,轻飘飘地砸在操作台上。
周围刚准备鼓掌的技术员们集体僵住,脸上的喜色瞬间凝固。
李副部长急忙凑上来,声音发紧。
“程工,哪里不对?”
“平整度。”
程美丽指着托盘里的那堆晶圆,语气冷得掉冰渣。
“你们现在用的涂层工艺,药液分布存在明显的厚度落差。”
她竖起一根手指。
“0.1微米的平整度误差。”
“这种表面,只要上了光刻机,光线一照就会产生衍射畸变。”
“刻出来的电路不仅会短路,还会直接烧穿底板。”
几个核心工程师脸色煞白,后背冒出一层冷汗。
0.1微米的误差,在他们现有的认知里,已经是极限的极限。
“这……”
一名老工程师咽了一口唾沫。
“程工,咱们现有的光刻胶配方粘稠度太高,旋涂机根本甩不平这0.1微米啊。”
“甩不平就换-->>
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