上都是几千万米金起的。

    光刻机换代以后，那些配套的什么刻蚀机、抛光机、离子注入机、封装机什么的相关设备生产线都要更换。

    这么多东西换下来。

    就不仅仅是几千万米金的事情了。

    动辄都是几亿米金的投入。

    还有各种加工芯片需要的耗材也不便宜。

    什么硅片、特气、光掩膜、光刻胶、湿化学品、靶材、辅助材料等等……