f光源。而且我们也有了突破193nm的方案。”

    听到这里，郑振川倏然一惊！

    他是搞光刻机的，当然知道193nm现在成了一个被行业内集体头疼的问题——要知道，光源的技术一直都领先于光刻机整机本身的技术。而光源的理论，更是早在光源造出来之前的数年、数十年就奠定了下来。

    但真当实现了193nm的Arf光源，开始研究下一代光源后，大家才发现这难度不是一般的大。

    ——都逼得灯塔国那边搞EUV联盟，直接跳过152，走极紫外路线了，你说难度大不大？

    苏远山现在告诉他，有突破193nm的方案！

    那岂不是……

    “你说的是真的？”郑振川盯着苏远山：“你别骗我，我认识一大帮搞光源的——我回头就问老赵去。”

    苏远山哭笑不得：“你问他也没用，保密的。”

    “……”

    “郑叔，所以别着急。双工件台，如果只用在国产光刻机上，只是算是锦上添花。当我们真正超越193nm的时候，才是国产光刻机拥有核心竞争力的时候。”

    郑振川半信半疑地看着苏远山，最终还是点了点头。

    随后，他便和苏远山一起望向曲慧。

    感受到两人的目光，曲慧突然觉得这两人的视线重逾千斤。

    “意思是，全部的压力都落在首都精科身上了？”

    “不，不是压力。”苏远山微微一笑。

    “是希望。”

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