制系统。

    那么……既然都已经取得突破了，还有什么麻烦？

    “那麻烦在哪？”

    “麻烦在于，我们目前只能实现0.5微米的精度。”曲慧紧缩着眉，凝望着苏远山道：“而且，精度越高，摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心，它在未来能不能追上光刻机的步伐。”

    “我给你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴，也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上，那它的意义就少了许多。”

    “还有一点，我们目前的工业基础，只能允许我们做到这个极限。”

    苏远山沉默地听着曲慧的介绍，终于明白了她的忧虑在哪。

    几秒后，苏远山微笑着摇头：“曲慧姐，其实你们已经很厉害了。”

    他这句话不是安慰人，而是真心这样认为。

    虽然他很少直接去首都精科那边，但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助，就算要机床，他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。

    所以，双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术，但实际上，却是一个由原首都精密仪器研究所，远芯，志远，清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。

    从阵容上，这个团队就已经堪称豪华了。

    要知道，搞机械，特别是精密机械，它不比搞程序设计。

    程序设计可以叫嚣“只有想不到，没有做不到”，但机械设计还真是，你能想到，但基本上办不到。

    双工件台的构思说白了，就如曲慧所说的那样，源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净，茶叶拿出来丢进杯子里，顺便还拧着暖水壶在一旁等着，只要水开，马上就能泡茶，装水，一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。

    但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的0.5微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻0.5微米大小的字。

    至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。

    因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了EDA的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。

    说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。

    双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。

    她不甘心。

    “这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。

    “嗯？你说什么方向。”

    “目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”

    “磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。

    郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”

    “不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”

    曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”

    “可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。
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